熔盐氢化

硅烷可在熔盐中合成，例如制造 SiH4。在 LiCl－KCl 熔体中通电， 阴极析出的锂与通入熔体的氢生成 LiH，再与通入的 SiCl4 反应生成SiH4。阳极析出的 Cl2 离开电解槽后，与 Si 作用生成 SiCl4 又可循环使用。此法省资源，省能量，成本较低。SiH4 是制造半导体硅的原料，半导体器件、非晶态太阳能电池等化学气相沉积用的气体。