熔盐氟化

氟化物广泛应用于工业材料和家庭用品的制造，最近在新材料、新技术中大量使用含氟化物的气体。例如在半导体器件制造中，NF3，SF6， SiF4，HF，F2，CF4，C2F6，C3F8 等发挥了很大的作用。作为电子材料用的气体、化学气相沉积和调制金属超微粒子用的物质，WF6，MoF6，VF5，NbF5， TaF5 等也很引人注目。熔盐电解氟化是制取上述氟化物的有效方法。

NF3 的新应用很多，可作火箭燃料的氧化剂、氟化剂、金属焊接用气体、电灯泡填充气体、合成（NPF2）n、NSF、N2F4、NOF 的原料、高输出功率激光用气体、干刻蚀用气体、等离子体容器及化学气相沉积容器的清洗气体、硅系光纤维表面处理用气体、有机和无机材料表面处理用气体、氟化物脱水用气体。采用化学法或熔盐电解法可制备 NF3，后者的收率高于前者。用镍阳极电解120℃的NH4F-HF，产物经精制可得99.9-99.99

％NF3，电流功率为 65％—70％，但镍阳极溶解损失较大并有阳极泥产生，气体管道会被冷凝的 NH4F 堵塞。现正在试验用碳阳极在 120—150

℃的 NH4F－KF－HF 中进行电解，该熔盐体系的优点在于电导率较高，电流效率高（＞80％）；但用碳阳极会产生阳极效应，电极会损坏，产品受 CF4 污染，这些问题正在解决中。

SF6 非常稳定，作为电绝缘性气体大量用于各种电工、电子装置，例如断流器、蓄电器、变压器。用碳阳极在 KF－2HF 熔体中电解制取 F2， 由 F2 与 S 反应制取 SF6。电解制取氟要防止碳电极崩坏，待开发临界电流密度大的碳阳极，抗氟化物熔体腐蚀的金属电极以及隔膜材料。