5. 化学气相沉积法（chemicalvapordeposi-tion ）CVD（热、光、激光和等离子体聚合）。

以上五种制取超薄膜的方法，其膜厚与叠层的控制难易不一：从 1 到 5 的加工方法中，给予分子的能量越来越大；对于 CVD 法，成膜后的分子往往与原料分子不一样；2，4，5 都要运用高真空技术。可以说高真空技术的开发，是杂化材料成为可能的关键环节之一。