【真空泵】

为获得真空用的各种抽气机叫做“真空泵”。种类很多，如，前级泵， 它能直接在大气压下工作。若需要在一定低压下工作，用以进一步提高真空度的真空泵，称为次级泵。从构造上分有机械泵、扩散泵、离子泵及吸气剂泵等。