【测超高真空的真空计】

普通电离真空计只能测量到 133.3×10-7 帕（10-7 毫米高水银柱）当气压再降低时，它的离子流读数不再降低。经证明，这是由于灯丝发射的电子在轰击到栅极上时能产生 X 光，它投射到板极上引起光电发射，因而出现一种与离子流同样性质的本底电流，其数值约相当于

■图 1-20

真空度为 10-7 毫米高水银柱时的离子流，当气压再降低时它仍然存在，因此，上述电离真空计不能指示更低的真空度。改进后的超高真空电离真空计的极板（离子收集极）为细丝状。这样，它接受 X 光的面积减小，本底电流也相应减小，因此它所能测量的真空度伸延到 133.3×10-11 帕（10-11 毫米高水银柱）的数量级，利用类似原理制成的新型磁放电式电离真空计可测到 133.3×10-13 帕（10-13 毫米高水银柱）。