vacuum pump 真空泵

一种用来减小容器中气体压力的泵。一般实验室中使用的油封旋转泵可保持 10-1 帕斯卡压力;如果压力低于 10-7 帕斯卡,则要使用扩射泵(diffusion pump);离子泵(ion pump)可达到的压力为 10-9 帕斯卡;低温泵(cryogenic pump)与扩射泵结合使用,可使压力达到 10-13 帕斯卡。vacuum tube 真空管

参见 thermionic valve。