electron probe microanalysis(EPM)电子探针微量分析

一种分析非常小量物质(小到 10-13g)的方法。此法是将很精密聚焦的电子束射向样品，以产生含该元素特征的 X 射线谱。可用于原子序超过 11 的元素的定量分析。