ion pump 离子泵

一种真空泵(vacuum pump)，能将容器内的压强降到约 1 毫微帕斯卡，其法是将电子束通过容器中的残留气体。气体被电离后，所形成的正离子被容器中的阴极吸引并在阴极上被捕获。此泵仅在较低压强，例如约低于 1 微帕斯卡时才有用。这种泵的能力有限，因为被吸收的离子最后在阴极表面饱和，如同时在阴极表面**溅镀(sputtering)**一层金属膜以持续形成清洁的表面，则能得到一种更有效的泵，这样的装置就称为溅镀离子泵。