cryogenic pump 低温(抽气)泵

一真空泵(vacuum pump)，其中压强因气体凝结于表面而下降，如用液态氢则表面温度维持在 20K 左右，如用液态氦则维持在 4K。压强下降可保持在 10-8mmHg(10-6Pa)；如果这些气体和扩散泵(diffusion pump) 一起使用，压强可下降到 10-15mmHg(10-13Pa)。