cryogenic pump 低温(抽气)泵 一真空泵(vacuum pump),其中压强因气体凝结于表面而下降,如用液态氢则表面温度维持在 20K 左右,如用液态氦则维持在 4K。压强下降可保持在 10-8mmHg(10-6Pa);如果这些气体和扩散泵(diffusion pump) 一起使用,压强可下降到 10-15mmHg(10-13Pa)。