optical flat 光学平面 具有高精密刨光表面的平面玻璃盘,其平正度偏差通常不超过 50 毫微米。在检查这类平面的平正度时,用它作规范平台,通过光学平面的平行光束从被测平面反射回来形成干涉图形(interference patterns),检查形成的干涉图形,就可检查被测平面的平正度。