optical flat 光学平面

具有高精密刨光表面的平面玻璃盘，其平正度偏差通常不超过 50 毫微米。在检查这类平面的平正度时，用它作规范平台，通过光学平面的平行光束从被测平面反射回来形成干涉图形(interference patterns)，检查形成的干涉图形，就可检查被测平面的平正度。